真空技术材料和系统设计

不锈钢是真空技术中重要的材料，用于建造箱体或组件。法兰连接处不锈钢具有足够的强度，即使在烘烤过程中，不锈钢的硬度也不受影响。可焊接，确保其真空密封，表面已全部钝化，从而为许多应用场合提供足够的保护。

大多数真空应用的差别都很小。但是，为了满足特别要求，应该分别对个别情况进行通用评估。例如：如果一个零件需要材料1.4301，那么它应该有相关的材料证明。如证明仅资料304，则不符合要求。这时，证书中的名字就很重要了。如符合相应的物料规格，生产商还可以证明半成品有多个名称。举例来说，如果材料被证明是1.4301、1.4307、304和304L，其使用就会更加多样化。

为了避免问题的发生，如在系统验收过程中，对半成品或零件的验收，应该事先明确对材料和证明的要求。

在真空系统的设计上，要保证排气稳定可靠，安装、拆卸、维护容易，操作方便，各部件之间具有互换性。为实现工作排气稳定，要求主泵性能稳定，各阀门运转灵活，密封可靠，各元件在系统中的接头无泄漏，真空室密封性能良好，与真空元件连接采用标准尺寸，确保了互换性。从理论上讲，真空系统设计中，每个封闭管路尺寸都应该是可调的。这种可调尺寸在以往的设计中，都是用软管来解决的，现在设计系统时，多数不用软管。并且采用提高真空元件的加工尺寸精度和利用连接法兰上的密封橡胶圈来解决安装误差，这样可以提高系统的强度和刚度，减少在系统中使用支架，更美观。

采用新技术，实现真空系统的自动控制和联锁保护；由于真空技术的发展，要求在整个抽气过程中都能实现自动化操作，例如采用真空继电器控制罗茨泵在1333Pa压力下启动工作。利用液压继电器控制蒸汽流泵的水压在相关压力下，当水压不足或断水时，能立即切断电源并报警。避免水泵烧坏。对复杂的真空系统、工艺和参数要求较高的设备，应采用微机程序控制，使其更加稳定可靠。

为节约能源、降低成本、使用方便、可靠而进行真空系统设计。这样做有很大的经济意义，并且可以使所设计的真空应用设备在市场上有广泛的销路。